日本雅马拓YAMATO等离子清洗机YSP63FA
日本雅马拓YAMATO等离子清洗机YSP63FA
雅马拓产品报价:0.00

可进行样品传输系统定制

特点 
●操作 方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。 
●软性基板也可以进行传送操作。 
●传送速度可在Hi-Low间调节。
●可通过网络进行远程操作(选购品)。
属性 参数
模式 RIE(DP模式选购)
高频输功率 600W
反应台尺寸 W385×D362mm
反应气体 2进气系统(氧气、氩气)
反应气体流量控制 质量流量控制器
气体导入口 反应气体2个、填充气体1个、空气1个
内腔尺寸 W395×D378×H45mm(内尺寸)
外形尺寸 W1860×D1100×H1800mm
真空泵 旋转式真空泵(约500L/min)

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