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■操作性·功能
●射频13.56Mhz0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
●标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
●平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 保护
●装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
●装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
● 电极， 产生均匀等离子体 。
● 电极和托盘结构， 样品可得到 清洗。
日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC510
雅马拓产品报价：0.00
适用于研究开发的小型等离子清洗机。
| 属性 | 参数 |
| 型号 | PDC510 |
| 等离子模式 | RIE/DP |
| 电极构造 | 平行平板（固定） |
| 高频输出 | Max500W |
| 频率 | 13.56MHz |
| 控制•显示 | 液晶触摸屏 |
| 反应室尺寸 | W500 x D300 x H200mm |
| 电极尺寸 | W400 x D200mm |
| 反应室材质 | 铝 |
| 反应气体 | 2系统（Ar、O2） |
| 填充气体 | N2或干燥空气 |
| 反应气体流量控制 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 油泵（约500L/分）标配 |
| 气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 |
| 外形尺寸 | W700 x D700 x H1285mm |
| 重量 | 约 180kg |
| 电源 | 三相AC200V8A |
