日本雅马拓YAMATO等离子灰化机PR301
日本雅马拓YAMATO等离子灰化机PR301
雅马拓产品报价:0.00

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

用途
•高分子材料表面的官能基付与一粘合性、密着性提高。通 过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影响)。
同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圆蚀刻。
•材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉预处理(膜过滤灰化)。
•从电子设备到生化市场。
•低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
•表面有机物去除。
属性 参数
型号 PR301
模式 DP模式,桶型
高频输出 Max300W
频率 13.56MHz
同调方式 手动2轴同调方式
反应腔 耐热玻璃0118x160mm
反应气体 1系统(氧气)流量计
控制 自动减压、自动密闭阀
配管材质 不锈钢、特氟龙
外形尺寸 W438xD520xH630mm
重量 约34kg
电源 AC100V7A

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